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  • 中红外激光器
    3 µm – 12 µm量子级联激光器;程控0-50mW功率调节;程控频率调制; 配备指引光。
  • 多色LED光源
    该光源系统采用四种波长组合的LED 灯芯(RGBW),分别为红色(中心波长625 nm)、绿色(中心波长525 nm)、蓝色( 中心波长453 nm)、白色
  • 硅基放大光电探测器
    Si探测器(320~1100 nm) ;InGaAs探测器(0.8-1.7 um) ;HgCdTe探测器(2.0-10.6 um) ;
  • 普通隔振平台
    拥有高刚性桌架,高导磁光学面包板,预留升级安装接口,尺寸可定制。
  • 气浮隔振平台
    精密自动调压气囊,模块化设计,隔振性能卓越,尺寸可定制,支持升级电子主动隔振。
  • 液氮小型恒温器
    体型小巧的恒温器,适用于空间狭小、液氮温度的光电测量系统。支持温度77-420 K。
  • 直线物镜切换器LC3
    高精度直线物镜切换器,无回程差,物镜切换重现精度±0.15μm,支持3&4&5&6&7组物镜,即插即用,集成光学主动对焦系统
  • 直线物镜切换器LC5
    高精度直线物镜切换器,无回程差,物镜切换重现精度±0.15μm,支持3&4&5&6&7组物镜,即插即用,集成光学主动对焦系统
  • 直线物镜切换器LC7
    高精度直线物镜切换器,无回程差,物镜切换重现精度±0.15μm,支持3&4&5&6&7组物镜,即插即用,集成光学主动对焦系统
  • 回转物镜切换器RC5
    高精度回转物镜切换器,无回程差,物镜切换重复精度±5″,支持4&5组物镜,即插即用,集成光学主动对焦系统
  • 垂直位移台VA20
    高精度垂直运动台,尺寸小刚度高,高动态响应特性,即插即用,广泛应用于4寸、6寸晶圆检测与加工
  • 单轴位移台S60
    行程60mm,负载5kg,重复精度±0.25μm