UV Speed系列【工业版】-托托科技（苏州）有限公司

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UV Speed系列【工业版】

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UV Litho-S无掩膜光刻机

工业型投影式无掩膜光刻机，光源波长405nm，光刻特征尺寸1um，支持样品尺寸从3mm×3mm到200mm×200mm。

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UV Litho-S+无掩膜光刻机

工业型投影式无掩膜光刻机，光源波长405nm，光刻特征尺寸0.5um，支持样品尺寸从3mm×3mm到200mm×200mm。

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