智能精密运动

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  • 直线物镜切换器LC3
    高精度直线物镜切换器,无回程差,物镜切换重现精度±0.15μm,支持3&4&5&6&7组物镜,即插即用,集成光学主动对焦系统
  • 直线物镜切换器LC5
    高精度直线物镜切换器,无回程差,物镜切换重现精度±0.15μm,支持3&4&5&6&7组物镜,即插即用,集成光学主动对焦系统
  • 直线物镜切换器LC7
    高精度直线物镜切换器,无回程差,物镜切换重现精度±0.15μm,支持3&4&5&6&7组物镜,即插即用,集成光学主动对焦系统
  • 回转物镜切换器RC5
    高精度回转物镜切换器,无回程差,物镜切换重复精度±5″,支持4&5组物镜,即插即用,集成光学主动对焦系统
  • 垂直位移台VA20
    高精度垂直运动台,尺寸小刚度高,高动态响应特性,即插即用,广泛应用于4寸、6寸晶圆检测与加工
  • 单轴位移台S60
    行程60mm,负载5kg,重复精度±0.25μm
  • 单轴位移台S110
    行程110mm,负载5kg,重复精度±0.25μm
  • 单轴位移台S160
    行程160mm,负载5kg,重复精度±0.25μm
  • 中空运动台AG075
    行程110 x 75mm,负载5kg,重复精度±0.25μm
  • 十字运动台CG150
    行程150 x 150mm,负载10kg,重复精度±0.5μm
  • 高精度XY运动台DG150
    行程150 x 150mm,负载20kg,重复精度±0.25μm
  • 台式控制器TC01
    紧凑型桌面式控制器,用于1轴控制,可支持全系列高精度运动台,支持5.0"全彩触摸屏控制或远程PC操作或脱机独立编程控制,支持二次开发